300mmウエハ用自動XYZステージ
移動量 300m x300mmの高精度自動XYステージに移動量 12mmの自動Zステージを組み合わせた自動XYZステージです。8インチと12インチウエハを吸着固定できる回転バキュームウエハホルダを組み合わせました。XYZの移動範囲、サンプルの固定などご要望に合わせてご提案します。オリジナルソフトウエア作成のためのAPIとDLLを無償提供いたします。
製品特長
- 移動範囲：XY=300mm x 300mm
- 移動範囲：Z=12mm（最大30mm）
- 様々なサンプル対応
- カスタムは1台から作成可能
- 目的に合わせた観察光学系、ソフトウエア作成
カスタム
1台からカスタム対応致します。更に高重量な試料に対応するステージや移動範囲改造やサンプルの固定方法、ステージの装置組み込み時の固定方法等お気軽にご相談ください。
納期
納期は基本的に約2ヶ月です。ご注文のタイミングにより前後します。
