微細マーキング装置 キャラクターマーカー
- ・レーザーマーカーと自動ステージを組み合わせて、統合したソフトウエアで制御します。
- ・図形や文字を描画できます。
- ・精度良く寸法を指定できます。
特注システム
ご要望に合わせた特注システムを作成致します。
ウエハレビュー用光学顕微鏡システム PRVシステム
- ・欠陥検査装置のマップを共有して光学顕微鏡でレビューします。
- ・4インチ～12インチウエハに対応した各種アライメント機能。
- ・へき開サンプルにもダイ基準のアライメントで対応。
2マイクロプレート（ウエルプレート）搭載可能 自動XYステージ
- ・2枚のマイクロプレートを搭載でき、全範囲を観察できる特別な自動XYステージです。
- ・ソフトウエアによる自動化でハイスループットな観察システムを構築します。
高荷重サンプル用自動XYステージ
- ・最大15kgまでのサンプルを搭載し移動できます。
- ・移動範囲は300mm x 300mmさらなる移動範囲も可能
- ・ソフトウエアによる自動化でハイスループットな観察システムを構築します。
顕微鏡用ウエハーローダ
- ・ウエハを自動搬送するシステムです。
- ・対応ウエハサイズは100mm（4インチ）、150mm（6インチ）、200mm（8インチ）、300mm（12インチ）
- ・裏面/表面マクロ検査機能、レーザーマーキング機能、欠陥検査装置マップとのリンク機能など各種オプションを追加可能です。
自動膜厚測定装置PIJ-FT
色光を用いた光干渉方を用いた膜厚測定を自動化することでウエハ全体の膜厚を自動測定します。
- 【構成】
- ・光学顕微鏡
- ・カールツァイス社製分光システムMCS600シリーズ
- ・メルツホイザー自動XYステージSCANシリーズ
- ・CCDデジタルカメラ
- ・オートフォーカス
- ・制御ソフトウエア（PC等含む）
ディスカッション顕微鏡用VISTEK除振プラットフォーム
- ・要求に合わせてプラットフォームを作成。
- ・100kgを超えるような重量にも対応可能
真空チャックセット
- ・バキュームウエハホルダや多孔質吸着ステージ（ポーラスチャック）用の真空チャック、吸引装置として使用可能
- ・配管長やフィルタなど要望に合わせた組み合わせを提案可能
