ご要望に合わせてオーダーメードなシステムをご提案致します。

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特注システム

ご要望に合わせた特注システムを作成致します。

自動膜厚測定装置PIJ-FT

自動膜厚測定装置

色光を用いた光干渉方を用いた膜厚測定を自動化することでウエハ全体の膜厚を自動測定します。

  • 【構成】
  • ・光学顕微鏡
  • ・カールツァイス社製分光システムMCS600シリーズ
  • ・メルツホイザー自動XYステージSCANシリーズ
  • ・CCDデジタルカメラ
  • ・オートフォーカス
  • ・制御ソフトウエア(PC等含む)
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