防音/除振アコースティックエンクロージャシステム VAIS-PMT
搭載盤に剛性/質量を有するグラナイトを使用
VAIS-PMT は防音と除振を兼ね備えたシステムです。音響や空調による振動を防ぐエンクロージャボックスと空気圧制御式アクティブ除振システムを組み合わせることで高精度な測定環境を提供します。
除振効果
| 5Hz | -20 ～ -25 0.1 [90 %] |
|---|---|
| 10Hz | -40 ～ -45 0.01 [99 %] |
| 20Hz | ca. -40 0.01 [99 %] |
搭載対応機器
特に下記のような検査機器や測定機器に適しています。
- AFM（原子間力顕微鏡）
- SPM（走査型プローブ顕微鏡）
- STM（走査型トンネル顕微鏡）
- 光学顕微鏡
- レーザ顕微鏡
- レーザ干渉計
- 表面粗さ計
- 微小硬度計
- ナノインデンター
- 電子天秤
- 膜圧測定器
- その他の除振したい精密機器
仕様
| 制御DOF's | ６自由度アクティブ制御 |
|---|---|
| 制御範囲 | 0.5～1000 Hz |
| パッシブ補助 | 圧縮空気 |
製品リスト
| 型式 | 寸法（幅 x 奥行き x 高さ）[mm]※ボックス内の高さ |
|---|---|
| VAIS-PMT-067(I) | 600 x 700 x 700 |
| VAIS-PMT-067(II) | 600 x 700 x 900 |
| VAIS-PMT-078(I) | 700 x 800 x 700 |
| VAIS-PMT-078(II) | 700 x 800 x 900 |
※上記以外のサイズも対応可能です。お問い合わせ下さい。
価格・納期
価格はお問い合わせ下さい。基本納期は受注後約2ヶ月です。
特注対応
搭載する装置、設置環境に合わせて搭載面サイズや素材をカスタム致します。お気軽にご相談下さい。
