膜厚測定、透過/反射測定、色差計として使用可能なカールツァイス社製MCS600分光分析装置

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カールツァイス・スペクトロスコピー社 モジュール型分光装置 MCS600シリーズ

カールツァイスMCS600シリーズ

MCS600は紫外(UV)/可視(VIS)/近赤外(NIR)波長領域の分光測定を迅速、効率的、正確に実行します。

必要な機能を選択して組み合わせることができるモジュール方式は、MCS500シリーズで培った技術を引き継ぎ、低コスト化を実現します。新しいデザインはS/N比と波長精度を向上し、よりインテリジェントなハウジングは、190nm - 2200nmの紫外(UV)/可視(VIS)/近赤外(NIR)の異なる分光器を直接組み合わせて使用することを可能にしました。さらに、OPCなどのプロトコルを利用する周辺システムやデータベースとの強力なコミュニケーションが可能になり新しいスタンダードになりました。また、processXplorerなどの特別にカスタマイズされたソフトウェアパッケージにより、優れた使いやすさを実現します。

その結果、1つのMCS600で、さまざまなスペクトル領域の高品質スペクトル、複数のプローブ、外部センサを最新のプロセス監視インタフェースで同時に記録することができます。

特長

  • 最先端の光学機器と電子部品を採用
  • 優れた性能 - 測光、ノイズ、直線性
  • 紫外から近赤外まで - 広範囲の分光器とランプモジュールを用意
  • マイクロプロセッサ制御の非常に安定した光源
  • 高い汎用性を提供する革新的なハウジングシステム
  • 賢い診断機能を備えたモジュール式デザイン
  • 優れた操作性、メンテナンス性、サービス性
  • 工業標準インターフェース - イーサネット、ワイヤレスLAN
  • 要求に応じたアクセサリーの選択
  • 様々なアプリケーションに対応する複数のシステムバージョン
  • 他社のケモメトリックスソフトウエアとの相互運用性

デザイン

高い拡張性を持ったモジュール方式の分光器です。

※クリックすると拡大表示します。

MCS600はハウジング、分光モジュール、光源モジュールで構成されます。ベースとなるハウジングには制御ユニットとマスタープロセッサーが内蔵されていて、背面にはplug-inインタフェースが用意されています。目的に合わせて構成を自由に選ぶことができます。

アプリケーション

  • 拡散反射スペクトルによる色測定
  • 発光強度分布測定
  • 蛍光スペクトル測定
  • 相対/絶対反射率測定
  • 透過率/吸光度測定、濃度測定
  • 白色光干渉による膜厚測定
  • 顕微分光システム

コーティングプロセスにおける品質管理での使用例 >>>詳細はこちら

真空成膜におけるプロセスモニタでの使用例 >>>詳細はこちら

透過/反射用測定ヘッド

様々な測定対象に対応するため、透過アプリケーション用と反射アプリケーション用の測定ヘッドをご用意しています。

透過用 & 反射用測定ヘッドはこちらへ。

仕様

分光器モジュール 波長範囲 ダイオードスペクトル画素半値分解能
MCS 601 UV-NIR 195 nm - 1015 nm10240.8 nm/pixel2.4 nm
MCS 651 UV 200 nm - 620 nm5120.8 nm/pixel2.4 nm
MCS 651 VIS 360 nm - 780 nm5120.8 nm/pixel2.4 nm
MCS 651 NIR 695 nm - 1100 nm5120.8 nm/pixel2.4 nm
MCS 621 UV 195 nm - 390 nm2560.8 nm/pixel2.4 nm
MCS 621 UV-VIS 190 nm - 720 nm2562.2 nm/pixe 7 nm
MCS 621 VIS II 310 nm - 1100 nm2563.2 nm/pixe 10 nm
MCS 611 NIR 1.7 HR 950 nm - 1700 nm2563 nm/pixe 10 nm
MCS 611 NIR 2.0 1340 nm - 2000 nm2563 nm/pixe 10 nm
MCS 611 NIR 2.2 WR 950 nm - 2200 nm2566 nm/pixe 18 nm
光源モジュール 波長範囲光源コネクタ
CLH 600 360 nm - 2400 nm10W ハロゲンSMA
CLH 606 F 340 nm - 2400 nm20W ハロゲン6 X SMA
CLH 606 A 380 nm - 2400 nm20W ハロゲン6 X SMA
BLX 600 220 nm - 800 nmキセノン・パルスZEISS 6mm
BLX 606 220 nm - 800 nmキセノン・パルス6 X SMA
CLD 600 215 nm - 620 nm重水素ランプSMA

カタログダウンロード

MCS600シリーズ

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